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弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库
相对于其他超光滑加工技术，弹性发射加工 技术能实现较高的加工精度，它基于化学和弹性 流体动力润滑原理实现原子级的材料去除，能在 保持低频面形误差的情 弹性发射加工（Elastic Emission Machining，EEM）是一种可以获得较高的加工 精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。日本大阪大学的Yuzo Mori教授等在 中国科学院国家科学图书馆
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弹性发射加工_百度百科
弹性发射加工 (elastic emission machining,EEM)采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带动抛光液中粒度为几十纳米的磨料，以尽可能小的人 1、弹性发射加工 EEM 加工时研具与工件不接触， 使微粒子冲击工件表面，并产生 弹性破坏物质的原子结合，以原 子级的加工单位去除工件材料， 从而获得无损伤的加工表面。 优 先进制造技术-超精密研磨PPT_百度文库
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精密与超精密加工现状与发展趋势
当前的超精密加工是指被加工零件的尺寸精度高于0.1μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm，以及所用机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，亦称之 弹性发射加工技术是从原子量级上提升光学元件表面中高频粗糙度的有效手段，可以实现超高精度平面和复杂曲面的制造，能够满足未来先进光源和极紫外光刻 弹性发射光学制造技术研究进展
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弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 百度学术
随着科学技术的发展,具有超光滑表面质量的光学元件已广泛应用于高精密产品和现代化国防等重要领域,超光滑表面加工技术是当今制造业的研究热点,直接影响机械产品的精度和表 1.加工原理如图1所示,所谓弹性发射加工(简称EEM)是将聚氨基甲酸乙脂回转球与工件一起置于悬浊液(含微细粉末粒子) 中,利用回转球与工件表面之间产生的流体润滑现象,去除工件 数控弹性发射加工 百度学术
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超精密研磨技术的现状及发展趋势_百度文库
图2 EEM 装置示意图 弹性发射加工装置( Elast ic Emission Machining, 收稿日期: 基金项目: 国家自然科学基金重点项目( 50535040) 作者简介: 方海生( 1970),男, 浙江舟山人, 浙江工业大学工程硕士, 浙江机电职业技术学院实验师, 研究方向为超 为使研磨压力均匀可控，近几年来还开发了磁力研磨，磁流体超精研磨及弹性发射加工（EEM）等新技术。 实现超精密磨削是一项系统工程，包括研制高速高精度的磨床主轴、导轨与微进给机构，精密的磨具及其平衡与修整技术，以及磨削环境的净化与冷却方 什么叫磨削效率？
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第5章-超精密研磨与抛光PPT课件_百度文库
以磨粒的机械作用为中心，由加 工液进行磨粒的分散，起缓冲和冷却作用。. 应用：加工硅片，可以得到完全高质量的镜面。. 第5章 超精密研磨与抛光. Chapter 5 Ultra Precision Lapping and Polishing. 2021/7/24. 1. f5.1 研磨和抛光的概述. 研磨和抛光都是利用研磨剂使工件与研目前，对于如何实现上述超高精度要求的超光滑加工 技术及装备仍然存在技术挑战。尤其对如何实现柱面，椭球面，超环面等复杂曲面的原子量级超光滑加工仍是国内外前沿研究方向。弹性发射加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷弹性发射光学制造技术研究进展
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第1章超精密研磨与抛光 ppt课件_百度文库
利用磨粒的 机械作用和 加工液的腐 蚀作用的双 重作用的加 工方法 ppt课件 33 ppt课件 34 5.5.3 非接触研磨技术 非接触研磨技术是以弹性发射加工（EEM)的理 论为基础的。 EEM方法是利用微 细粒子在材料表面上滑 动时去除材料的加工。要获得理想的加工效果，磨粒的直径应小于液膜 的厚度，一般是纳米级别的抛光粒子。韩国学者 Jeong[8]对弹性发射加工抛光区域的压力、速度进行分 析，并对磨粒运动进行模拟仿真以此来揭示材料的去 除机理。Kutbota 等[9-10]对弹性发射加工中磨粒的形超光滑表面加工技术研究进展 NSFC
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弹性发射加工中磨粒群运动特性的研究 豆丁网
本文针对EEM中的磨粒运动状态及材料去除函数分别进行了仿真分析和实验研究，为基于EEM技术的超光滑表面加工提供了理论依据及技术支持，主要做了以下几方面的工作：（1）搭建了具有压力反馈和在线调整功能的EEM系统实验台，利用实验台对K9玻璃进行了EEM弹性发射加工 (Elastic EmissioMachining,EEM)是 一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微 小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具 (研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触线保持 在45°角。抛光时,垂直工件方向施加载荷，并且保持先进制造技术-3精密与超精密加工技术_百度文库
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超精密研磨技术的现状及发展趋势_百度文库
3.1弹性发射加工 弹性发射加工装置(Elastic Emissi on Machining，EEM )见图2。发明者Mori和Tsuwa1描述，它是一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具(研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触目前，国内外研磨加工主要还是采用散粒磨料在慢速研磨机上研磨。其特点是加工精度高、加工设备简单、投资少，但是加工精度不稳定、加工成本高、效率低。几种纳米级研磨加工方法3.1弹性发射加工弹性发射加工装置(ElasticEmissiMachining，EEM)见图2。超精密研磨技术的现状及发展趋势 豆丁网
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精密研磨与抛光概述
弹性发射加工方法如图3-10所示。加工头为—聚氨脂球，在微粒子悬浮液中，加工球头在回转中向工件表面接近，使悬浮液中的微粒子在工件表面的微小面积(Фl~2mm)内产生作用。 对加工头和工作台实施数控，可实现曲面加工。EEM的数控加工装置 弹性发射加工原理图2.2磁流体研磨磁流体研磨是利用磁性流体所具有的液体流动性和磁性材料的磁性以及外磁场的作用，来保持磨料与工件之间产生相对运动而达到研磨和光整工件表面的一种精密加工新技术。中国科学院国家科学图书馆 豆丁网
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超光滑光学表面加工技术发展及应用（精品pdf）.pdf 豆丁网
激光与光电子学进展48,082202(2011)Laser&OptoelectronicsProgress2011中国激光杂志社超光滑光学表面加工技术发展及应用中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学..21弹性发射加工弹性发射加工(ElasticEmissionMachining，EEM)是非接触抛光技术的理论基础。 所谓弹性发射加工，是指加工时研具与工件互不接触，通过微粒子冲击工件表面，对物质的原子结合产生弹性破坏，以原子级的加工单位去除工件材料，从而获得无损伤的加工表面。第3章 精密磨削加工 豆丁网
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超精密加工现状综述_网易订阅
当前超精密加技术如 CMP、EEM 等虽能获得极高的表面质量和表面完整性，但以牺牲加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如 CMP、EEM 的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密加工领域研究人员的目标。超精密切削、磨削技术能有效提高加工效率，CMP、EEM技术能够保证加工精度，而半固着磨粒加工方法及电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法由于能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密加工的趋势。b.大型化、微型化。精密与超精密加工现状与发展趋势
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弹性发射加工 EEM 设备
1. 正1.加工原理如图1所示,所谓弹性发射加工 (简称EEM)是将聚氨基甲酸乙脂回转球与工件一起置于悬浊液 (含微细粉末粒子)中,利用回转球与工件表面之间产生的流体润滑现象 技术理论O根据反应动力学原理要提高加工速率9 主要从 液流悬浮硅晶片表面 f2.5 超精密研磨与抛光. • 研磨、抛光是最古老的加工工艺，也一直都是超精 密加工最主要的加工手段。. 通常，研磨为次终加工 工序，将平面度降低至数微米以下，并去前道工序 (通常为磨削)产生的损伤层。. 抛光是目前主要的终 加工手段，目的是降低表面超精密加工之气囊抛光_百度文库
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第1章超精密研磨与抛光ppt课件 豆丁网
应用：加工硅片，可以得到完全高质量的镜面。335.5.2微细磨粒＋软质抛光垫＋酸性（或碱性）液利用磨粒的机械作用和加工液的腐蚀作用的双重作用的加工方法34355.5.3非接触研磨技术是以弹性发射加工（EEM)的理论为基础的。超精密研磨由于具有独特的加工原理和对加工设备、环境因素要求不高等特点,故它可以实现纳米级甚至原子级的加工,已成为超精密加工技术中的一个重要部分。. 一、超精密研磨的研究现状目前各种超精密加工方法的精度范围超精密加工目前包括4个领域：（1先进制造技术-超精密研磨PPT 豆丁网
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超精密研磨技术的现状及发展趋势 豆丁网
超精密研磨技术的现状及发展趋势摘要：概述了最近超精密研磨技术的研究动态，介绍了研磨技术的原理、应用和优势，同时介绍了课题组研制的基于修止环在线修整抛光盘技及专..弹性发射加工（Elastic Emission Machining，EEM）是一种可以获得较高的加工 精度和较低的表面粗糙度的超精密研磨方法。日本大阪大学的Yuzo Mori教授等在 研究了工件表面以原子级去除材料的可行性后，建立了弹性发射加工理论，并将其 描述为一种新的中国科学院国家科学图书馆
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精密及特种加工技术读书报告 豆丁网
1.6.2 弹性发射加工 (Elastic emission machine，EEM) 日本大阪大学TSUWA等人 研究了在工件表面，原子级去除材料的可行性，建立了弹性发射加工理论。EEM 技术采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带 动抛光液中粒度为几十纳 弹性发射加工是可以得到很高的加工精度和低表面粗糙度的超精密加工方法。 EEM加工原理如图1所示。 在高速旋转的聚氨脂球与被加工工件表面之间加上含有微细磨料的工作液，并对聚氨脂球加上定的压力。基于超声研磨的超精密加工 学习园地 优胜UG模具设计
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弹性发射光学制造技术研究进展 百度文库
弹性发射. 加工技术是一种去除函数稳定，超低亚表面缺陷，面向原子级的超光滑加工方法，可以作为加工上述精度要求光学元件. 的手段。. 本文总结了弹性发射加工技术的国内外研究现状及最新进展，归纳了弹性发射加工技术的原理，包含流体特. 引用本文: 李抛光盘平面精度及其精度保持性是实现高精度 平面抛光的关键。因此，抛光小面积的高精度 平面工件时要使用弹性变形小，并始终能保持 平面度的抛光盘。 03GDD3 主编 第三章 精密与超精密磨料加工 第三章 第一节 第二节 精密与超精密磨料加工 精密磨削 精密1_第三章 精密与超精密磨料加工_百度文库
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基于超声研磨的超精密加工_机床商务网
以上各种超精密研磨方法都分别在不同的加工对象上取得了良好的效果。其中弹性发射加工（EEM ）由于兼有研磨和抛光的特点而有发展前途。但这些加工方法对加工设备和条件都有特殊的要求，在影响加工精度、表面质量的各种因素中，有的因素弹性发射加工(elastic emission machining,EEM)采用浸液工作方式，利用在工件表面高速旋转的聚氨酯小球带动抛光液中粒度为几十纳米的磨料，以尽可能小的人射角冲击工件表面，通过磨粒与工件之间的化学作用去除工件材料，工件表层无塑性变形，不产生晶格转位等缺陷，对加工功能晶体材料极为有利弹性发射加工_百度百科
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大尺寸光学玻璃应该如何抛光？-聚展
固结磨料加工、离散粒子抛光、纳米级磨料修整3个工序作用不同，如下图所示，各工序中包含不同的加工方法、加工精度范围及工艺路线。抛光加工过程工艺流程图 01 固结磨料加工 固结磨料加工目的是以高材料去除率快速获得亚微米级平整表面，面形精度 超精密加工机床的设计与制造技术. 世界超精密机床的现状与特点. 纵观40年超精密机床发展史，可以总结为两大特点：. (1)大学和研究所保持着对超精密机床研究的持续热情，对高技术进行超前研究，对超精密机床产业化和商品化起着推动的作用例如，20世 超精密加工技术的发展及对策
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